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AbstractAbstract
[en] With the device a spatially resolving material investigation with soft X-rays is made possible for the application on microscopic samples by using the scanning microscope principle. Simultaneously a direct electronic image storage can be done by a spatial separation of target and sample. The electron beam of a scanning electron microscope serves for this; it produces the Ksub(α)-component of Be, C, Fe2O3 or Al in the target in a raster shape. The Ksub(α) component can this way be directed onto the sample as a scanning X-ray beam via an imaging system (X-ray probe). A zone plate or a mirror optics can be used as the imaging system. (RW)
[de]
Mit der Einrichung wird eine ortsaufloesende Materialuntersuchung mit weicher Roentgenstrahlung an mikroskopischen Proben unter Ausnutzung des rastermikroskopischen Prinzips ermoeglicht. Gleichzeitig kann bei raeumlicher Trennung von Target und Probe eine direkte elektronische Bildregistrierung vorgenommen werden. Hierzu dient der Elektronenstrahl eines Rasterelektronenmikroskopes, der im Target rasterfoermig die Ksub(α)-Komponente von Be, C, Fe2O3 oder Al erzeugt, die somit als rasternder Roentgenstrahl ueber ein Abbildungssystem auf die Probe gerichtet wird (Roentgensonde). Als Abbildungssystem eignet sich eine Zonenplatte oder eine Spiegeloptik. (RW)Original Title
Einrichtung zur ortsaufloesenden Materialuntersuchung einer Probe
Primary Subject
Source
18 Jan 1979; 10 p; DE PATENT DOCUMENT 2730889/A/
Record Type
Patent
Country of publication
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INIS IssueINIS Issue