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AbstractAbstract
[en] The micro beam probe shows an objective with a short focus. It consists therefore out of two rotational symmetric electrostatic lenses that are cascaded. Between the lenses a hole stop is situated as an aperture for the primary radiation. The field generated by the electrodes and the sample surface focuses the secondary particles into this hole stop in contrary to the primary beam. The separation of primary and secondary particles follows by a deflection device that is based on the different particle energies. The objective also can further contain a light microscope device of the Schwarzschild type for observation of the sample surface. (DG)
[de]
Die Mikrostrahlsonde weist ein Objektiv kurzer Brennweite auf. Es besteht hierzu aus zwei hintereinandergeschalteten rotationssymmetrischen elektrostatischen Linsen, zwischen denen eine Lochblende als Aperturblende fuer die Primaerstrahlung angeordnet ist. Das von den Elektroden und der Probenoberflaeche erzeugte Feld fokussiert die Sekundaerteilchen in diese Lochblende entgegen dem Primaerstrahl hinein. Die Trennung von Primaer- und Sekundaerteilchen erfolgt aufgrund ihrer unterschiedlichen Energie mittels einer Ablenkeinrichtung. Das Objektiv kann noch eine lichtmikroskopische Einrichtung vom Schwarzschild-Typ zur Betrachtung der Probenoberflaeche enthalten. (DG)Original Title
Mikrostrahlsonde zur quantitativen Erfassung von geladenen Sekundaerteilchen
Source
30 Nov 1978; 8 p; DE PATENT DOCUMENT 2223367/C/
Record Type
Patent
Country of publication
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