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AbstractAbstract
[en] The developed mass spectrometer affords very high acceptance (cm2 sr) compared with conventional mass spectrometers owing to its large solid angle of 0.178 sr. The ion optical properties of the instrument were tested by bombarding various targets (Al, Ni, Ti, Cu, Si) with potassium or caesium ions from a thermionic ion source with energies of 1, 2 and 3 keV and recording mass spectra of positive and negative sputtered ions. The ion optical beam path was calculated analytically (magnet system) in part and numerically in part (energy analyzer, einzel lenses and detector system) and represented in graph form. The results obtained from the mass spectra showed that the magnet system with its twelve permanent magnets is too irregular to produce mass linses with good resolution. Furthermore, it was found that the maximum primary energy of the alkali ions that was possible in this mass spectrometer owing to the breakdown strength was not sufficient to record surface-specific mass spectra since the target surface was covered within a very short time with an at least monatomic layer of alkali ions from the thermionic ion source. (orig./HP)
[de]
Das entwickelte Massenspektrometer hat auf Grund des grossen erfassten Raumwinkels von 0,178 sr eine im Vergleich zu konventionellen Massenspektrometern sehr hohe Akzeptanz (cm2.sr). Zur Pruefung der ionenoptischen Eigenschaften des Geraetes wurden verschiedene Targets (Al, Ni, Ti, Cu, C, Si) mit Kalium- bzw. Caesiumionen aus einer Thermionenquelle mit Energien von 1, 2 und 3 keV beschossenen und Massenspektren positiver und negativer zerstaeubter Ionen aufgenommen. Der ionenoptische Strahlverlauf wurde teils analytisch (Magnetsystem) und teils numerisch (Energieanalysator, Einzellinsen und Detektorsystem) berechnet und grafisch dargestellt. Auf Grund der Ergebnisse der aufgenommenen Massenspektren stellte sich heraus, dass das Magnetsystem aus zwoelf Dauermagneten zu unregelmaessig ist, um gut aufgeloeste Massenlinien zu erzeugen. Weiters zeigte sich, dass die maximale Primaerenergie der Alkaliionen, die in diesem Massenspektrometer wegen der Ueberschlagfestigkeit moeglich war, nicht ausreichte, um oberflaechenspezifische Massenspektren aufzunehmen, da die Targetoberflaeche innerhalb kuerzester Zeit mit einer mindestens monoatomaren Schicht von Alkaliionen aus der Thermionenquelle bedeckt war. (orig./HP)Original Title
Entwicklung und Erprobung eines doppelfokussierenden, statischen, axialsymmetrischen Massenspektrometers
Source
Apr 1979; 76 p
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