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AbstractAbstract
[en] The invention concerns an ion beam gun with a pair of electrodes for applying a high voltage of high frequency, for ionizing an ionization gas. The ions produced are expelled in an extraction electrode situated behind the pair of electrodes. (orig./HP)
[de]
Die Erfindung betrifft eine Ionenstrahlkanone mit einem Paar Elektroden zum Anlegen einer hochfrequenten Hochspannung zum Ionisieren eines Ionisationsgases. Erzeugte Ionen werden durch eine in Ionenstrahlrichtung hinter dem Elektrodenpaar angeordnete Extraktionselektrode extrahiert. (orig./HP)Original Title
Ionenstrahlkanone
Primary Subject
Source
24 Mar 1983; 31 Aug 1981; 9 p; DE PATENT DOCUMENT 3134337/A/; ?: 31 Aug 1981
Record Type
Patent
Country of publication
Reference NumberReference Number
INIS VolumeINIS Volume
INIS IssueINIS Issue