Die Reaktion von Titanmetall mit gasfoermigem Stickstoff und gasfoermigem Ammoniak bei 890⁰C fuehrt zur Bildung von nitridischen Deckschichten auf dem metallischen Substrat. Die Dicken der Deckschichten nehmen mit steigender Reaktionszeit zu. Unter vergleichbaren Bedingungen ist die Reaktion mit Ammoniak bedeutend langsamer als die mit Stickstoff. XPS und AES Tiefenprofil-Messungen zeigen kontinuierliche Veraenderungen der Tiefenverteilungen der Elemente Titan und Stickstoff innerhalb der Deckschichten. Dies beruht vermutlich auf der sehr unregelmaessigen Dicke jeder einzelnen Deckschicht. Diese Vermutung wird unterstuetzt durch die Ergebnisse von AES-Punktanalysen und durch die Beobachtung einer ausgepraegten kristallinen Struktur des Substrats nach der thermischen Vorbehandlung, was zu lokal unterschiedlichen Reaktionsraten Anlass geben kann. Die quantitative Analyse von Proben, die neben Titan Stickstoff enthalten, wird in der AES durch die Ueberlagerung von Titan- und Stickstoff-Augeruebergaengen erschwert. In der XPS treten Schwierigkeiten bei der Festlegung der Ti 2p-Peakflaechen auf. In dieser Veroeffentlichung werden Verfahren vorgestellt, die die quantitative Auswertung sowohl von XPS- als auch von AES-Spektren erlauben und Daten hinreichender Genauigkeit liefern. (orig.)