Das Verfahren der Magnetron-Kathodenzerstaeubung wurde zur Abscheidung duenner YBaCuO-Schichten auf verschiedenen Substraten (Al₂O₃, MgO, SrTiO₃, Zr(Y)O₂) optimiert. Die Wachstumsrichtung und die kristalline Guete der Schichten wurde in Abhaengigkeit von der Substrat-Oberflaechenguete, der Orientierung und Temperatur mittels Ionenchanneling und Roentgendiffraktion untersucht. Der Grad der Epitaxie und die Mosaikverbreiterung bestimmen den kritischen Transportstrom mit Werten bis zu 5.5.10⁶ A/cm² bei 77 K. Selbst in ultraduennen Schichten mit einer minimalen Dicke von bis zu 2 nm zeigt das supraleitende Verhalten 3-dimensionalen Charakter. Schichten auf (100) SrTiO₃ mit Dicken kleiner etwa 9 nm sind teilweise zur Unterlage verspannt, was auf kommensurables Wachstum hinweist. Die Channeling-Analyse der Schichtoberflaeche ergibt in guenstigen Faellen eine Verlagerung von nur 1 Ba-Atom pro Ba₂Y-Kette, was einer maximalen Dicke der gestoerten Oberflaeche von etwa 0.6 nm entspricht. Auf diesen Schichten praeparierte Tunneldioden zeigen Strukturen mit einer Energieluecke in der Naehe von ±16mV und ±30mV. (orig.)