Filters
Results 1 - 1 of 1
Results 1 - 1 of 1.
Search took: 0.011 seconds
[en] A model of electron beam effect on electron-sensitive resist polymethylmethacrylate (PMMA) is presented. It is shown that polymer destruction under electron beams action is an activation process. The electron beam near the resist surface polarizes polymer molecules activating the process of its local destruction. Dynamic pressure of an electron beam on the resist corresponds to binding energy density in PMMA
[ru]
Предложена модель воздействия электронного пучка на электронорезист полиметилметакрилата (ПММА). Показано, что деструкция полимера под воздействием электронного пучка является активационным процессом. Поток электронов вблизи поверхности резиста поляризует молекулы полимера, активируя процесс его локального разрушения. Динамическое давление электронного пучка на резист соответствует плотности энергии связи в ПММАJournal
