Filters
Results 1 - 1 of 1
Results 1 - 1 of 1.
Search took: 0.015 seconds
AbstractAbstract
[en] One studied the problem concerning the diffusion transfer of the sputtered atoms in a hollow cathode cylindrical chamber in a glow-discharge. One derived an expression describing the distribution of the sputtered atom backward flux within the cathode along its surface. It was shown that reprecipitation of the sputtered atoms might result in discharge pulling towards the cathode range where the current density was the higher one at the initial moment
[ru]
Рассмотрена задача о диффузионном переносе распыленных атомов в цилиндрической камере с полым катодом в условиях тлеющего разряда. Получено выражение, описывающее распределение обратного потока распыленных атомов на катод вдоль его поверхности. Показано, что в результате переосаждения распыленных атомов может происходить стягивание разряда в область катода, где в начальный момент времени плотность тока была наибольшейOriginal Title
Vliyanie pereosazhdeniya raspylennykh atomov na dinamiku raspredeleniya ikh potoka vdol' poverkhnosti pologo katoda v tleyushchem razryade
Source
14. International conference on ion surface interaction; 14. Mezhdunarodnaya konferentsiya po vzaimodejstviyu ionov s poverkhnost'yu; Zvenigorod (Russian Federation); 30 Aug - 4 Sep 1999; 12 refs., 3 figs.
Record Type
Journal Article
Literature Type
Conference
Journal
Izvestiya Akademii Nauk. Rossijskaya Akademiya Nauk. Seriya Fizicheskaya; ISSN 1026-3489;
; CODEN IRAFEO; v. 64(4); p. 752-755

Country of publication
Reference NumberReference Number
INIS VolumeINIS Volume
INIS IssueINIS Issue