Filters
Results 1 - 1 of 1
Results 1 - 1 of 1.
Search took: 0.016 seconds
[en] Structure and composition of Zr-based coatings produced by 5 and 10 keV self ion assisted deposition of zirconium on silicon substrate have been investigated. Formed coatings are found to have a homogeneous composition through the thickness. Near the coating-substrate interface there are amorphous regions as well as ∼10 nm in size nanocrystalline Zr precipitates. Elemental analysis of the coatings shows a high content of oxygen, carbon and silicon in deposited coatings
[ru]
Исследованы структура и состав покрытий на основе Zr, сформированных в условиях ассистирования осаждения циркония на кремний облучением ионами Zr+ с энергией 5 и 10 кэВ. Установлено, что состав покрытий однороден по толщине. Вблизи границы раздела покрытие-подложка существуют аморфные области и нанокристаллы Zr размером до ∼10 нм. Элементный анализ покрытий показал присутствие в осажденном покрытии кислорода, углерода и кремнияJournal
