On the modes of evaporation of Si and dopants in vacuum epitaxy procedures

Kuznetsov, V. P.; Alyabina, N. A.; Bozhenkin, V. A.; Belova, O. V.; Kuznetsov, M. V.

doi:10.1007/s11453-008-3001-x

Filters

Results 1 - 1 of 1

Results 1 - 1 of 1. Search took: 0.017 seconds

DOI

On the modes of evaporation of Si and dopants in vacuum epitaxy procedures

Kuznetsov, V. P.; Alyabina, N. A.; Bozhenkin, V. A.; Belova, O. V.; Kuznetsov, M. V.2008

Citation
Export

AbstractAbstract

[en] Silicon layers are grown by sublimation molecular beam epitaxy at the rate 1 μm h^-1 at temperatures 500-900 deg. C in vacuum at the pressure 10^-5 Pa. The possibility of varying the Sb concentration in the Si layers in the range from 10¹⁵ to 10²⁰ cm^-3 by varying the temperature of epitaxy is shown. The potentialities of different modes of vacuum evaporation of Si and dopants are analyzed

Primary Subject

MATERIALS SCIENCE (S36)

Source

Record Type

Journal Article

Journal

Semiconductors; ISSN 1063-7826;

; CODEN SMICES; v. 42(3); p. 251-256

Country of publication

United States

Descriptors (DEI)

DOPED MATERIALS, LAYERS, MOLECULAR BEAM EPITAXY, SILICON, SUBLIMATION, TEMPERATURE RANGE 0400-1000 K, TEMPERATURE RANGE 1000-4000 K, VACUUM EVAPORATION

Descriptors (DEC)

CRYSTAL GROWTH METHODS, ELEMENTS, EPITAXY, EVAPORATION, MATERIALS, PHASE TRANSFORMATIONS, SEMIMETALS, TEMPERATURE RANGE

LanguageLanguage

English

Reference NumberReference Number

39097990

INIS VolumeINIS Volume

INIS IssueINIS Issue

External URLExternal URL

http://dx.doi.org/10.1007/s11453-008-3001-x

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž