Formation of nanoparticles on the silicon surface under the effect of femtosecond laser pulses

Zabotnov, S. V.; Ezhov, A. A.; Golovan', L. A.; Lastovkina, M. A.; Panov, V. I.; Timoshenko, V. Yu.; Kashkarov, P. K.

doi:10.1134/S1063782607080258

Filters

Results 1 - 1 of 1

Results 1 - 1 of 1. Search took: 0.016 seconds

DOI

Formation of nanoparticles on the silicon surface under the effect of femtosecond laser pulses

Zabotnov, S. V.; Ezhov, A. A.; Golovan', L. A.; Lastovkina, M. A.; Panov, V. I.; Timoshenko, V. Yu.; Kashkarov, P. K.2007

Citation
Export

AbstractAbstract

[en] Nanoparticles were formed on the surface of single-crystal silicon as a result of irradiation of this surface with femtosecond laser pulses. According to the data of the atomic-force microscopy, the height of these nanoparticles ranges from 2 to 30 nm and their transverse size varies from 70 to 200 nm

Primary Subject

MATERIALS SCIENCE (S36)

Source

Record Type

Journal Article

Journal

Semiconductors; ISSN 1063-7826;

; CODEN SMICES; v. 41(8); p. 998-1001

Country of publication

United States

Descriptors (DEI)

ATOMIC FORCE MICROSCOPY, LASER RADIATION, MONOCRYSTALS, NANOSTRUCTURES, PARTICLES, PHYSICAL RADIATION EFFECTS, PULSED IRRADIATION, SILICON, SURFACES

Descriptors (DEC)

CRYSTALS, ELECTROMAGNETIC RADIATION, ELEMENTS, IRRADIATION, MICROSCOPY, RADIATION EFFECTS, RADIATIONS, SEMIMETALS

LanguageLanguage

English

Reference NumberReference Number

39098079

INIS VolumeINIS Volume

INIS IssueINIS Issue

External URLExternal URL

http://dx.doi.org/10.1134/S1063782607080258

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž

À	Á	Â	Ã	Ä	Å	Ā	Æ
Ç	È	É	Ê	Ë	Ē	Ì	Í
Î	Ï	Ī	Ð	Ñ	Ò	Ó	Ô
Õ	Ö	Ø	Ō	Œ	Š	Ù	Ú
Û	Ü	Ū	Ý	Ÿ	Ȳ	Þ	à
á	â	ã	ä	å	ā	æ	ç
è	é	ê	ë	ē	ì	í	î
ï	ī	ð	ñ	ò	ó	ô	õ
ö	ø	ō	œ	š	ù	ú	û
ü	ū	ý	þ	ÿ	ȳ	Č	č
Ď	ď	ě	Ĺ	ľ	Ň	ň	Ř
ř	Ť	ť	ů	Ž	ž