Кремниевый фотоумножитель (SiPM) – современный полупроводниковый фотодетектор, способный регистрировать одиночные фотоны. Он состоит из множества микроячеек (пикселей), которые работают в так называемом ‘гейгеровском’ режиме. В настоящее время среди таких приборов существуют конструкции с поверхностными пикселями и с глубинной пиксельной структурой. Ячеистая структура уменьшает эффективную фоточувствительную площадь прибора, выражающуюся через геометрический фактор заполнения, что весьма важно учитывать при разработке новых конструкций с большими плотностями пикселей, необходимыми для увеличения динамического диапазона. Считается, что глубинные фотодиоды обладают фактором заполнения, близким к единице. В данной работе приводятся методика и результаты исследований зонального отклика SiPM различных конструкций сканированием (перемещением) лазерного пятна микрометрового размера. Показано, что при регистрации красного света (λ = 632 нм) глубинный фотодиод имеет геометрический фактор меньше 100%.