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AbstractAbstract
[en] The examination of residual gas spectrograms of turbomolecular pumps in relation to the pumping performance of operational conditions presented the following results: turbomolecular pumps should have a high compression ratio to keep the high vacuum side free of heavy hydro-carbons. In pumps with a low compression ratio, which were simulated in these test series by reducing the rotary speed, the relative portion of heavy hydrocarbons rises much faster than the portion of the light gases. A turbomolecular pump with a high compression ratio operated with a single stage backing pump attains yet a good endvacuum, whilst a turbomolecular pump with a low compression ratio and a single stage backing pump cannot for reason of the high portion of atmospheric gases attain a good final vacuum
[fr]
Les analyses de spectres des gaz residuels de pompes turbomoleculaires en relation avec les caracteristiques de pompage et conditions de service ont produit les resultats suivants: les pompes turbo-moleculaires doivent avoir un taux de compression eleve, pour que le cote vide eleve soit rendu libre des hydrocarbures lourds. Dans des pompes avec un taux de compression relativement faible, qui etait simule pour les series des essais par une reduction de la vitesse de rotation, les incidences relatives des hydrocarbures lourds dans le spectre des masses montent beaucoup plus vite que les incidences des gaz legers. Une pompe turbo-moleculaire avec un taux de compression eleve travaillant avec une pompe preliminaire a un etage atteint un vide limite satisfaisant, tandis qu'une pompe turbo-moleculaire avec un taux de compression faible travaillant avec une pompe preliminaire a un etage n'atteint plus un bon vide limite a cause des incidences elevees des gaz atmospheriquesOriginal Title
Influence de differents parametres sur les spectres de masse des pompes turbo-moleculaires
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Journal Article
Journal
Vide. Couches Minces; v. 31(182); p. 74-81
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