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AbstractAbstract
[en] Equipment for the evaporation of metals and other conducting materials by electron beam heating is to be improved by surrou nding the evaporation equipment with a grid, which has a negative voltage compared to the cathode. This achieves the state where the cathode is hit and damaged less by the ions formed, so that its life period is prolonged. (UWI)
[de]
Eine Einrichtung zaer Verdampfung von Metallen und anderen leitenden Stoffen durch Elektronenstrahlheizung soll dadurch verbessert werden, dass das Verdampfungsgut mit einem Gitter umgeben wird, welches eine negative Spannung gegenueber der Kathode aufweist. Man erreicht, dass dadurch die Kathode weniger von den gebildeten Ionen getroffen und beschaedigt werden kann, so dass sich ihre Lebensdauer verlaengert. (UWI)Original Title
Verdampfereinrichtung mit Elektronenstrahlheizung zur Verdampfung von Metallen und anderen leitenden Stoffen
Primary Subject
Source
2 Jun 1977; 5 p; DE PATENT DOCUMENT 2551667/A/; Also available from Dt. Patentamt, Muenchen (FRG); 1 fig.
Record Type
Patent
Country of publication
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